X線を用いた微細加工技術「LIGAプロセス」

摘要

多くの分野において、微細化は確たる技術潮流といえよう。 その効果は、電子機器類のモバイル化、医療機器の高度化、自動車を含む機械類の制御性の革新、環境問題への対応など、さまざまである。しかし、従来の機械加工技術は限界に達しつつあり、そのため新たな加工技術の開発が活発に行われている。 そのひとつに、Ⅹ線を用いた微細加工技術である　 「LIGAプロセス」がある。 放射線の応用分野のひとつとして紹介することとしたい。