Ir/Au-TESを用いたⅩ線マイクロカロリメータの開発

摘要

1．まえがきⅩ線天体観測、材料分析、生体計測等の分野において高エネルギー分解能と高計数率で動作が可能なⅩ線検出器が求められている。超伝導転移端センサ（伽nsitionEdgeSensor‥TES）を用いたⅩ線マイクロカロリメータはこれらの研究対象に適用できるⅩ線検出器として現在注目を集めている1－3）。 TESマイクロカロリメータは、超伝導転移端を湿度センサとして使用しており教戒程度のⅩ線エネルギーを高感度に測定し、数ev以下のエネルギー分解能を達成できるのが特長である。 さらに電熱フィードバック方式（BlecはothermalFeedback：ETF）を適用したETF－TBSマイクロカロリメータでは1kcps程度の高計数率での動作を可能とする。