極高真空電子顕微鏡

摘要

電子はマイナスの電荷を持った荷電粒子であり，Ⅹ線や中性子と比較して物質との相互作用が大きい．またRuskaの発明後，多くの先人によって開発された電子顕微鏡の技術により，容易に電子線をナノメートル領域に収束させることが可能となり，電子線はナノメートル領域の物性を探る最も強力なプロ－ブの一つとして，材料科学物性研究に幅広く利用されている．ビーム関連技術（スピン偏極，分光，集束レンズ，偏向，収差補正等）の絶え間の無い改良により性能向上は現在も続いている．