金属ナノ粒子?微粒子の電子部品部材への応用

摘要

金属ナノ粒子?微粒子に関する研究の目ま ぐるしい進歩により，さまざまな合成法が開 発され，粒径?形態の揃った金属ナノ粒子? 微粒子を簡易に得ることができるようになつ すた. まだまだ未知の部分も多いが微細な 金属粒子の特異な物性も明らかになりつつあ り，金属ナノ粒子?微粒子の新たな応用展開 についても，とりわけ，電子部品部材への応 用が検討されている. 近年，液晶ディスプレ イや有機ELディスプレイなどのフラットパ ネルディスプレイや電子機器の急激な需要拡 大に伴い，低コストで迅速なデバイス製造プ ロセスの開発が求められている.また，パー ソナルユースでの用途の多様化により携帯機 器の軽量化やフレキシブル性の高いデバイス の開発が求められている. 現在主流である半 導体素子形成技術としては，フォトリソグラ フィ一が多く用いられている. フォトリソグ ラフィ一ではシリコン基板上にフォトレジス トと呼ばれる感光物質を塗布し，レーザー照 射により電子回路を描画するため，マイクロ メ一 トルオーダーでの微細な電子回路を作製 できるが，高真空や高価な装置，多段階の煩 雑なプロセスが必要となる.