マイクロビーム加工によるナノ金型作製とナノインプリントへの応用

摘要

ナノ金型（モールド）を樹脂などにプレスしてナノ構造を作製するナノインプリントリソグラフィ(NIL)1,2)は、単純な原理でありながら極めて高いポテンシャルと実用性を備えた微細構造転写技術である。すでに従来のビーム加工の限界を凌駕する2nm以下の解像性が確認されているほか、三次元構造の一括加工など、従来の微細加工技術にはない多様性がある。しかし、高い解像性や優れた生産性を確保するためには、モールドの作製が重要となる。このためには、広義の放射線（光、電子、イオン、X線などの）マイクロ?ナノビームを利用した微細加工技術が不可欠となる。