これからの光源 ランプの新用途（エキシマランプと用途）

摘要

ランプはその発光波長特性に応じ様々な用途があります．赤外線を発光するランプは加熱用として，可視光線を発光するランプは照明として利用されています．一方，紫外線はフォトンエネルギーが大きいため化学変化を起こしやすく，紫外線を発光するランプはリソグラフィ，キュア（紫外線硬化樹脂による印刷，塗装の瞬間乾燥や接着など），殺菌，医療などに利用されています．ここでは，紫外線光源としてエキシマランプを概説し，その用途について紹介します．