Зависимость физико-механических и трибологических свойств твердого сплава от состава и структуры многокомпонентных пленок на основе Ti-Zr-N

摘要

Установлены закономерности между технологическими и температурными условиями подготовки подложки и осаждения слоев, структурным и фазовым состоянием многослойных многокомпонентных пленок на основе двух- и трехкомпонентных нитридов тугоплавких металлов Ti и Zr и их физико-механическими и трибологическими свойствами.