磁歪合金を駆動源とする磁気マイクロバルブの開発

摘要

近年、環境に優しく、CO2を排出しない代換えエネルギーとして、水素を始め、アルコール等液体燃料が注目されている。さらに、小型·携帯型燃料電池の研究開発および半導体プロセスの高精度化、微小化学／生化学分析システムなどの発達により、微小空間における微小流量を制御するためのマイクロバルブ、流量を一定に保つコントローラの実用化·高機能化が望まれている。この問題を解決するため、次世代動力源として、1つの素材が、センサー機能と行動機能（アクチュエータ）を同時に持つ多機能アクチュエータ素子の開発が急がれている。