世界最高分解能の電子顕微鏡を開発STEMで1A、TEMで0.7A8月に新製品発表を予定

摘要

米FEI社は世界最高分解能の走査型透過電子顕微鏡（STEM＝Fig）を開発した。 通常の透過型電子顕微鏡（TEM）としても使用できる。 分解能はSTEMとして1A、TEMとして0．7Aという。 現在、複数の電子顕微鏡専門の主要な研究者や顧客と秘密保持契約を結hで評価を進めており、デモ測定などが可能になるのは、8月にハワイで開かれる2005Microscopy andM icroanalysis meetingにおける新製品の正式発表以降になる。