電極構造のナノ設計による半導体ガスセンサの高感度化

摘要

電極ナノデザインは半導体ガスセンサの新しい高感度化法になるといえよう．特に，環境用NO_2センサや芳香族系VOCセンサはppbレベルでのガス検知が必要とされる．これらの系ではマイクロギャップ効果が大きく現れるので，電極ナノデザインはppbレベルのガスを検知できる高感度センサの構築に有用であると考えられる．