ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОУРОВНЕВОГО МИКРОРЕЛЬЕФА В ТОНКИХ ПЛЁНКАХ ГИБРИДНОГО ФОТОПОЛИМЕРНОГО МАТЕРИАЛА НА ОСНОВЕ ТИОЛ-СИЛОКСАНОВЫХ И АКРИЛАТНЫХ ОЛИГОМЕРОВ

摘要

Исследованы оптические методы формирования многоуровневого микрорельефа в слоях гибридного фотополимерного материала Гибример-ТАТС на основе тиол-силоксановых и акрилатных олигомеров. Методами полутоновой фотолитографии и прямой лазерной записи сформированы многоуровневые структуры высотой 3,5 и б мкм соответственно. Определены характеристические кривые и фоточувствительность материала. Оптимизирован процесс приготовления и обработки плёнок, при этом обнаружено, что добавление этапов пред- и постэкспозиции существенно влияет на фоточувствительные свойства Гибример-ТАТС. Фотополимер перспективен как конструкционный материал для формирования микроструктурированных оптических компонентов.