Рассмотрены методы снижения ошибок изготовления бинарных дифракционных оптических элементов (ДОЭ) путем оптимизации стратегии записи на лазерных системах с круговым сканированием. Показано, что измерение и регистрация параметров записывающей системы и окружающей среды в процессе записи гарантируют заданную точность изготовления элементов либо получение карты ошибок волнового фронта. Экспериментально исследованы аберрации волнового фронта осесимметричных ДОЭ, обусловленные ошибками изготовления. Идентифицированы различные типы волновых аберраций, которые удалось связать с конкретными источниками ошибок записи. Интерферометрия волнового фронта, формируемого тестовыми зонными пластинками с апертурой до 0,45, показала, что среднеквадратичная ошибка волнового фронта не превышает λ/100.
展开▼
