РЕАЛИЗАЦИЯ ФИЛЬТРОВ ВЫСОКИХ ЧАСТОТ СУБТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ВЫСОКОАСПЕКТНЫХ ПОЛИМЕРНЫХ СТРУКТУР

摘要

Представлен технологический подход к реализации эффективных квазиоптических фильтров типа high-pass субтерагерцового диапазона частот электромагнитного спектра с использованием высокоаспектных псевдометаллических структур. Подход основан на микроструктурировании сплошного полимерного слоя из полиметилметакрилата посредством синхротронной рентгеновской литографии с последующей металлизацией всей поверхности структуры. Приведены пример изготовленного образца и операционные характеристики фильтра high-pass с частотой отсечки 0,275 ТГц, который имеет толщину 1 мм и сформирован гексагонально упакованными сквозными отверстиями шестиугольной формы, разделёнными перемычками шириной 70 мкм. Представлены электродинамический анализ и принципы дизайна структур high-pass.