ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО МЕТОДА ИЗМЕРЕНИЙ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЧНОСТИ ПРЕЦИЗИОННЫХ УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР

摘要

Рассмотрены особенности контроля метрологических параметров оптических шкал, лимбов или кодовых дисков. Предложена концепция построения интеллектуального мехатронного модуля на основе аэростатического подшипника для высокопроизводительной углоизмерительной машины. Положительный эффект достигнут за счёт применения дифференциального метода измерений, позволяющего выделить искажающий вклад, вносимый измерительной установкой, в результирующую погрешность контролируемых структур.