О МОЗАИЧНЫХ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКИХ ПРИЁМНИКАХ ИНФРАКРАСНОГО И ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНОВ

摘要

Синтезирована конструкция матричных мозаичных фотоприёмников (МФП) и предложен ряд схем блоков адресации, уменьшающих "слепую зону". Разработана прецизионная технология изготовления мозаичных фотоприёмников с суммарным размером слепой зоны не более 30 мкм. Рассмотрены некоторые системные вопросы применения мозаичных фотоприёмников. Полученные результаты при создании неохлаждаемых микроболометричес- ких МФП форматом 3072×576 на основе субмодулей 384×288 с шагом фоточуьствительных элементов 17-51 мкм в ИК-диапазоне обеспечивают эффективность преобразования изображений ～99%, а при шаге фоточувствительных элементов 100 мкм в терагерцовом диапазоне - 100%.