画像処理プラットフォームを応用した検査アプリケーション＜ウェハ検査装置「FAVIS-1000」＞

摘要

画像処理によるFA用外観検査は、今日では、製品の品質を維持し、かつ大量に生産するための重要な応用技術である。 富士電機システムズは、高速生産ラインにおける全数自動外観検査システムで、数多くの納入実績があり、様々な検査ワークの異物、欠陥検査を通して、品質維持の一役を担っている。 今回、画像処理プラットフォームを応用した検査アプリケーションとして、ウェハ検査装置「FAVIS-1000」を開発した。 本稿では、FAVIS-1000の特長など、その概要について、紹介を行う。