MEMSを応用したプロセスガスクロマトグラフ：ガスクロマトグラフにマイクロ·エレクトロメカニカルシステムを応用

摘要

複雑さすなわち製品コストを減じること、ミニチュア化と堅牢性により据付に係わる建設コストを押さえること、基本的優位性を失うことなく幅広く遠隔操作と調整ができることなどはほぼすべてのユーザが期待するところであり、これらが満足できれば、ガスクロマトグラフの新しい方向性への主なる障害はすでになくなったと考えて差し障りない。これらを実現することを目的として、コスト低減や分析スピードの高速化と分析の信頼性向上を達成する、新しい形の新型ガスクロマトグラフをSiemens社では開発着手し、製品を完成した。 以下に詳細について紹介する。