マスフロー千夜一夜物語 第31回 <質量流量計の基礎>

摘要

「質量流量計」に分類される熱式流量センサーを搭載した機器（マスフローメータ、マスフローコントローラ）で用いられるコンバージョンファクターという実ガスへの変換係数に関する深掘り解説と、種々のガスを用いる上での注意点に関して安全面を主体に解説する。