半導体製造における「超音波濃度計」の活用例＜半導体製造工程において超音波を勧める理由＞

摘要

超音波濃度計自体は各種様々な業界、現場にて使用されている機器ではある。本稿では多成分測定の原理と合わせ、半導体プロセスでの判定例を紹介する。