薬液濃度モニター＜濃度計測の必要性とHORIBA薬液濃度モニター＞

摘要

半導体デバイスの歩留り確保には、ウェットプロセスにおける薬液濃度の管理が重要である。HORIBAでは吸収分光法を原理とした多成分用濃度モニターをラインナップしている。本稿ではその実力や特長について紹介する。