液体流量計による流量制御と気化技術＜耐酸性液体流量計および軽接触式気化器による反応性原料液の気化＞

摘要

気体および液体の質量流量を計測する質量流量計は、計測のみならず流量制御器として、広い分野で使用されている。なかでも、液体流量の計測と制御は、近年半導体をはじめとして、FPD、太陽電池パネル、さらには燃料電池などの分野において重要な技術になっている。それらの多くが液体化合物を原料とした薄膜形成に応用されている。液体原料は、高い反応性や分解性、重合性あるいは腐食性をもつものが多く、これらの液体の流量計測と制御、ならびに気化に際しては、構成部品の設計や、材料選定に十分な配慮が必要である。当社は過去20年におよぶ液体材料の気化供給技術を基盤として、顧客からの最新の液体原料（プリカーサ）に対する流量制御および気化技術の開発に取り組hでいる。本稿では、耐酸性流量計および、最新の気化器である、軽接触式気化器とその応用例について紹介する。