MEMS応用によるプロセスガスクロマトグラフ＜ガスクロマトグラフにマイクロ·エレクトロ·メカニカル·システムを応用＞

摘要

MEMS（マイクロ·エレクトロ·メカニカル·システム）を応用し、従来のガスクロマトグラフとはコンセプトが異なる新しいタイプのガスクロマトグラフMicroSAMを、Siemensが開発、販売している。そのコンセプトの詳細、および実現のための新しい技術などについて紹介する。