ナノ構造材料における極低入射電圧走査型電子顕微鏡法と応用

摘要

走査型電子顕微鏡法（Scanning Electron Microscopy ： SEM)は試料へ細く収束された電子を照射することで，表面に形成されたナノメートルオーダーの凹凸形状や組成情報を知ることができる手法である.SEM は入射電子線のエネルギーを低く抑えることで試料極表面の情報が選択的に取得されるが，入射電子の低エネルギー化に伴い，主に色収差の影響による分解能劣化が問題となっていた.しかし，近年，対物レンズや電子制御方法の進展によリ低入射電圧高空間分解能SEM (LV-HRSEM)が開発され，低入射電圧であっても1.0 nm以下の空間分解能が得られるまでに至った.このため最近では，材料開発や品質管理などに広く用いられ，その用途はますます広がっている.本稿ではLV-HRSEMを用いた最新技術として減速法，電子のエネルギー選別，軟X線分光法といった技術と同時にナノ構造材料に適用した応用例も紹介する.