直流3端子法による電気抵抗率測定

摘要

電気的特性の一つとして評価される電気抵抗率は，物質特有の物理量であり，その特性を知ることは材料開発や製品の品質を管理する上でも重要です.当センターでは，ファインセラミックスを中心とする材料の電気抵抗率評価を実施している.電気抵抗率の測定方法は，抵抗範囲により使い分けされ，絶縁材料（抵抗率10~6Ωcm以上）では，直流3端子法を用い，導電性および半導体材料（抵抗率10~6Ωcm以下）では，直流4端子法を用いる.ここでは，直流3端子法による電気抵抗率測定について紹介する.