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DLC膜の構造科学

机译:DLC电影的结构科学

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摘要

DLC膜はアモルファス炭素膜の俗称である.アモルファス炭素のうち,特に工業的利用価値の高い材料を指して呼ぶことが多い.約40年前,DLC膜はダイヤモンドに近い構造を有する膜という意味合いを持っていたが,最近はどうだろうか.DLC膜構造解析の最前線を紹介する.
机译:DLC薄膜是无定形碳膜的常见名称。 非晶碳通常被称为,特别是高工业利用。 大约40年前,DLC薄膜有一个膜,钻石靠近钻石,但最近如何? 介绍DLC膜结构分析的最前沿。

著录项

  • 来源
    《金属》 |2009年第2期|共6页
  • 作者

    斎藤秀俊;

  • 作者单位

    長岡技術科学大学;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类 金属材料;冶金工业;
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-20 12:43:55

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