めっき法を用いた膜作製と微細加工

摘要

めっき膜はナノスケールでの形成制御が可能であリ, 高アスペクト比，あるいは複雑な形状を有する構造体への均一形成性に優れるなどの特徴を活かしてこの分野に多用されてきた．本内容はそのさらなる精密化をめざし，エレクトロニクス実装用の微小バンプや配線等の電析形成において，各種添加剤やめっきプロセス条件に着目し，微細構造の電析形態制御を実現するための内容をまとめたものである.