マイクロ波を用いた窒化チタンコーティング法

摘要

材料プロセッシングへのマイクロ波応用は，セラミックス焼結や接合など，内部加熱や体積加熱という特徴を活かしたバルクプロセッシングへの適用が主であった．薄膜材料やコーティングの分野は，PVD法やCVD法等の成膜技術が主流であるが，最近，マイクロ波を利用した簡便な窒化物コーティング技術が開発された．