レーザーCVDによるチタン酸バリウム系強誘電体の作製

摘要

レーザーで化学析出反応場を活性化することによって，酸化バリウム一酸化チタン擬二元系の各複酸化物化合物膜を作り分けることができる．また，結晶配向したチタン酸バリウムおよび二チタン酸バリウム厚膜を高速成膜することが可能であり，レーザーCVDの誘電体および非鉛系圧電デバイス作製への応用が期待される．