セラミック製水素分離膜

摘要

対向拡散CVD法で作製したアモルファスシリカ系水素分離膜はアルミナ多孔質基材，メソポーラス中間層，分離活性層で構成されている．分離活性層はメソポーラス中間層の細孔内に形成され，そのガス分離特性は高温でパラジウム膜と同等の水素透過率，水素ガス選択透過性を有する．