顕微鏡用試料研磨装置：ISポリッシヤーを使ってみる

摘要

新しい試科作製システム「IS-POLISHER」という半自動試科作製研磨装置が開発された．この装置の性能を試すために硬·軟複層金属，半導体アルミボンディング部，積層セラミックコンデンサー断面の拡大観察·半導体パッケージの微妙な試料調製など，日頃私たちが試料作製に神経を使う試料を選び，実際に使ってみた．