915MHz進行波型連続焼成炉の開発とその特徴

摘要

近年，IT機器の小型化に伴い，セラミックス電子部品は小型·軽量化が進み，そのため焼成時には棚板や断熱材などの炉材の熱容量が製品の熱容量の数十倍に達してしまい，非常に効率の悪い方法で焼成されている．そこで，マイクロ波加熱の特徴である省エネルギー，迅速処理等の効果をより発揮することのできる加熱方法として，小型部品に特化した915MHz進行波型連続焼成炉の開発を行った．外観および構造を写真1および図1に示す．