加圧ガス冷却対応真空熱処理炉向けガス間接加熱バーナの開発

摘要

真空熱処理炉は，大気圧以下の減圧下で熱処理を行う炉である。 処理時間の短縮や省エネルギー，高品質化，作業環境の向上などの特徴がある。当社は，ラジアントチューブの材質に高温真空下での耐久性に優れた常圧焼結炭化ケイ素セラミックスを用いた加圧ガス冷却対応型真空加熱バーナを開発した。 今回開発したバーナはシングルエンドラジアントチューブバーナをベースとした間接加熱バーナで，当社独自のセラミックチューブ取付構造を採用したことで，これまで課題であったセラミックチューブの取り付け時や使用中の破損を防止するとともに，加圧ガス冷却への対応も可能とした。