真空槽一体型真空誘導溶解炉システム

摘要

従来り大型チャンバの中で誘導炉を憤動させる方式から，真空チャンバと誘導炉を一体化することにより超小型化を実現した新方式「真空槽一体型真空誘導溶解炉システム」を紹介する。 　 この新方式の「真空槽一体型真空誘導溶解炉システム」は，超コンパクト構造のた軌　 当社比1／10以下に小型化され　 設置スペースの縮小化を実現した。 また，設備一式の投資額低減に加えて，1サイクル当たりの操業時問短縮などり操業効果も期待できる。