産業用X線CTのしくみと検査·測定できること，測定誤差の要因とその影響

摘要

CTはComputed Tomographyの略称であり，コンピュータ断層撮影と呼ばれる。病院ではX線CTによって頭部，胸部，腹部などの病変，外傷性の異常などの診断に活用されている。一方，産業用X線CTは自動孝用の鋳物部品，電池·コンデンサなどの電気·電子部品，実装基板などの空孔·空隙，異物，接合状態などの非破壊検査に利用されている。産業用X線CTは，X線の透過能力と検出効率の向上，空間分解能の向上，検查時間の短縮，検査対象の大型化対応，アーチファクトと呼ばれる偽像の対策など，医療用と同様の課題も含めながら産業用独自の発展を遂げている。さらには，コーンビームCTと呼ばれる技術によって検査対象の全体または一部の体積をボリュームデータとして比較的に短時間で得られるようになり，また.画像再構成法の改善，様々な補正によって，その画質が向上している。CT像の基本的な画質は，形状と階,调（産業用CT値）の精度，および，ノイズの量であると考えられ，これらの改善が進められている。そのため，産業用X線CTは，「検査用」としてだけでなく，「計測用」としての利用が増えている。また，被検査物の表面と内部を計測することができる「3Dスキャナ」として，3D CAD, 3Dプリンタなどと組み合わせてデジタルエンジニアリングへの活用も増加している。