マイクロフォーカスCTにおけるX線装置と檢出器の組み合わせと適用事例

摘要

マイクロフォーカスCT装置の最大の特徴は，空間分解能が優れている点であるが，ミニフォーカス，医療用CT装置と比べると，密度分解能の点で劣っている。 しかし, マイクロフォーカスCT装置が対象とする工業用製品は材質，大きさも様々であり, 空間分解能が優先される場合と密度分解能が優先される場合がある。従って，最適なCT装置も対象物により異なる。 CT装置の主要構成要素であるマイクロフォーカス線源，検出器も様々あるが，どのような対象物に，どのような線源，検出器の組み合わせが最適かを，空間分解能と密度分解能の両者の観点で述べる。