ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ПЛЕНОЧНОГО ЛИТЬЯ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ КЕРАМИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК НА ОСНОВЕ ОКСИДА ИЛИ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

摘要

Изложены особенности технологии формования керамических подложек на основе оксида или нитрида алюминия методом пленочного литья на основу с применением линии 《КЁКО》 (Словения). Приведены компоненты связующего (дисперсионной фазы), включающего полимерную связку - поливинилбутиралъ (ПВБ) марки РУВ 98; пластификатор - дибутилфталат (ДБФ) марки Santicizer; диспергатор - рыбий жир и растворитель - смесь толуол/этанол при соотношении 1:2. Представлены режимы приготовления шликера - суспензии, литья и ламинирования керамической ленты на основе оксида или нитрида алюминия. С учетом данных термического анализа (ДСК и ТГ) установлен режим удаления органической составляющей из 《сырых》 алюмооксидных или алюмонитридных заготовок-подложек, предусматривающий нагрев до температуры 500 °С с заданной скоростью нагрева и охлаждения. Разработанная технология формования методом пленочного литья обеспечивает получение сырых заготовок-подложек с заданной плотностью и необходимой технологической прочностью.