高度モニタリングへのAE技術の進化～その基礎からディジタルセンサ開発まで（下）

摘要

前稿では，AE（Acoustic Emission）技術の基礎からセンサ／素子の動向と課題について紹介した。本稿では，従来のアナログ式AEセンサの問題点について述べた後，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）式アコースティック·エミッション·センサ（AE）を開発について述べ，そして本稿の目的であるLiNbO_3 （ニオブ酸リチウム）を用いた音響コム型ディジタル式AEセンサ開発の概要について解説する。