МОДЕЛИРОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ НАДЁЖНОСТИ КОНТАКТНЫХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ СВЕРХПРОВОДЯЩИХ ЭЛЕМЕНТОВ ПО МНОГОМЕРНЫМ АВТОКОРРЕЛЯЦИОННЫМ ФУНКЦИЯМ

摘要

На основе экспериментальных данных проведено моделирование взаимозависимых параметров надежности многослойных контактных наноструктурированных сверхпроводящих элементов при учете многомерной автокорреляции для обеспечения требований к надежности космической микроэлектронной аппаратуры. Прогнозирование интенсивности отказов межсоединений осуществляется в пределах 10~(-4) - 10~(-10) отказов/час, а при учете корреляции и автокорреляции - в диапазоне 10~(-4) - 10~(-12) отказов/час. Достоверность прогнозирования обеспечена экспериментальными данными испытаний и моделированием на основе натурных испытаний 1000 микроплат с 576 контактными наноструктурированными сверхпроводящими элементами на каждом слое восьмислойной структуры. При этом активное управление электрическим сопротивлением стягивания контактных элементов производится в пределах 0,1 - 3,7 мкОм за счет наноповерхностной термодиффузии.