Создание нового класса нанокомпозитных покрытий повышенных трещиностойкости и твердости на основе применения инновационных пучковых технологий

摘要

Статья посвящена разработке научно-технологических принципов, позволяющих с помощью применения инновационных пучковых и плазменных технологий получить новый класс гетерогенных материалов с нанокомпозитными покрытиями повышенных циклической трещиностойкости и твердости на проводящих и диэлектрических материалах сложной геометрической формы. На основе полученных результатов был разработан источник атомов металла и пучков высокоэнергетических молекул с прямоугольной мишенью и изготовлена новая установка осаждения покрытий.