Адгезионные характеристики и термостойкость наноструктурных покрытий, полученных вакуумно-дуговым методом

摘要

Представлены результаты исследования покрытий Zr:O-Cr:N, AlTiSiN-Ti:N-Cr:N, сверхтвердого аморфного углерода (а:С) с использованием растровой электронной микроскопии, просвечивающей электронной микроскопии, микроиндентирования и скретч-тестирования на пластичность и адгезионно-когезионную прочность. Показано, что совокупность различных параметров скрайбирования позволяет определить пороговые значения критической нагрузки, приводящие к различным типам адгезионного и когезионного разрушения покрытий, что может быть использовано для определения термостойкости тонких твердых покрытий. Представлены результаты исследования термической стабильности покрытий при отжиге с последующей оценкой адгезионной прочности. Описаны особенности деформации и разрушения покрытий различного состава при проведении адгезионных испытаний. Установлено, что наибольшей адгезией к основе и термостойкостью обладают покрытия на основе AlTiSiN-Ti:N-Cr:N.