Исследование магнетронного напыления нанопокрытий на поверхность деталей из конструкционной керамики после механической обработки

摘要

Предложен и апробирован способ магнетронного напыления нанопокрытий на детали после финишной обработки, позволяющий блокировать 100 % микротрещин. Получены математические модели адгезии и толщины покрытия. Получены фотографии структуры обработанной поверхности керамики из SiO_2.