Особенности формирования и физические свойства защитньж металлических пленок нитрида титана

摘要

Получены многофазные пленки методом ионной имплантации на подложке NaCl с повышенной адгезией и структурным совершенством. Установлено, что структура, кинетика нарастания пленок и их свойства зависят от дозы внедряемых в подложку ионов.