表面機能設計研究分野

摘要

本研究分野では，金属および化合物半導体を対象に、主として超高純度素材作製のための新しい精製手法およびプロセスの開発、高純度素材の特性解明、薄膜およびバルク特性に与える不純物の影響解明等についてについて研究活動を行っている。2003年の研究活動としては，以下のように概括される。