Представлен анализ погрешностей изготовления формирующих структуру оптического покрытия слоев, результаты которого позволяют определить слой, максимально влияющий на спектральные характеристики покрытия. Оценивается чувствительность интерференционного покрытия к отклонению геометрических толщин слоев от расчетных значений. В процессе выявления слоя, максимально влияющего на стабильность спектральной характеристики, толщины слоев поочередно заменяются на некие, отличающиеся от расчетных на известную величину. Для вновь полученной структуры определяется оценочная функция. Слой, которому соответствует максимальное значение оценочной функции, считается наиболее чувствительным к неточностям изготовления слоев.
展开▼
