放射光光電子分光によるMOSFETゲートスタック構造の界面電子状態解析

摘要

平成25年4月付けで材料工学専攻材料設計工学分野に着任しました．これまでの経歴を簡単に述べますと，東京大学工学系研究科応用化学専攻博士課程にて尾鴫教授のご指導のもと，平成19年9月に「Electronicstructureanalysisofgateinsulatorfilms／siliconstudiedbysyn－chrotron－radiationphotoemissionspectroscopy」という論文で博士（工学）の学位を取得しました．平成19年10月から平成24年10月まで同所属にて継続して研究しつつ，放射光施設にて光電子分光装置開発などを行いました．