СТРУКТУРА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ И СВОЙСТВА НИКЕЛИДА ТИТАНА С ПОКРЫТИЯМИ ИЗ МОЛИБДЕНА И ТАНТАЛА

摘要

В работе исследованы структурно-фазовые состояния, физико-механические свойства по?крытий из молибдена и тантала, полученных методом магнетронного напыления, а также прилежащего к ним слоя подложки из никелида титана. Проведена оценка адгезионной проч?ности покрытий к подложке, изучено влияние покрытий на физико-механические свойства никелида титана, в том числе эффект памяти формы.