新規ペロブスカイト型ビスマス圧電体薄膜の作製とその特性評価

摘要

近年，環境問題への関心の高まりから，従来から広く使用されているベロブスカイト型構造を有する鉛系圧電体に替わる非鉛圧電体材料の探索が幅広く行われている．非鉛圧電体としては，LiNbO3などのリチウム系化合物，りBi4Ti3O12などのビスマス層状化合物など2）の研究もあるものの，そのほとhどは，鉛系圧電体と同じベロブスカイト型構造を有するBaTiO3などのベロブスカイト型バリウム系化合物，3）KNbO3などのベロブスカイト型アルカリ金属系化合軌4）そして（Bi，K）TiO3などのべロブスカイト型ビスマスアルカリ金属系化合物5）である．