Резонансный метод контроля технологических параметров при изготовлении микрополосковых СВЧ устройств радиолокационного приемника

摘要

Предложен резонансный метод контроля оценки качества материалов и технологических параметров, используемых при изготовлении элементов микрополосковых СВЧ устройств радиолокационного приемника. Метод позволяет объективно выбирать оптимальные технологические параметры и материалы, влияющие на качество изготовления микрополосковых СВЧ устройств, путем контроля добротности и СВЧ потерь микрополосковых резонаторов на разных частотах. Дана оценка влияния используемых материалов и технологических факторов на электрофизические параметры микрополосковых линий.