分割円筒空洞共振器によるPZT厚膜の複素誘電率測定における試料挿入部の影響に関する検討

摘要

TE{sub}011分割円筒空洞共振器法による直径50mm、厚さ0.2mmの鏡面研磨されたアルミナ基板上に化学溶液法により合成した2μm厚のPZT膜の複素誘電率の推定において、共振周波数と誘電体Qの計算に横共振法および摂動法を適用し、モード整合法によるTE波解析での推定結果との比較により試料を挿入する縁端部の影響について評価した結果、PZTの比誘電率およびtanδはアルミナ基板の比誘電率の推定値が影響することを確認した。