［招待講演］半導体多層薄膜を使った結合共振器構造によるテラヘルツ発光素子

摘要

3つのブラッグ反射多層膜と2つの等価な共振器層で構成する化合物半導体多層膜結合共振器を使った新しいテラヘルツ発光素子を提案している．室温動作の面型素子で，近赤外で発光する量子構造を含む共振器層への電流注入により二波長レーザ発振を実現するとともに，同一薄膜構造内での二次非線形光学応答によってテラヘルツ帯の差周波を発生する．本報告では、ウエハ接合による分極制御がテラヘルツ波発生の高効率化に有効であることを示すとともに，テラヘルツ発光素子の基本となる電流注入での赤外二波長レーザ発振特性を紹介する．